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主要電子特種氣體

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集成電路

新型顯示

光伏

LED

 

高純三氯化硼6N5

刻蝕、摻雜

刻蝕

摻雜

刻蝕

量產

超純氨7N5

沉積、外延

沉積

沉積

沉積、外延

量產

高純氧化亞氮6N

沉積

沉積

沉積

沉積

量產

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